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聚四氟乙烯大面积漫反射参考板及其制造方法
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一种能精确测量超薄工件厚度方法及仪器
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位移与速度传感器
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一种检测掠射筒状离轴非球面镜的多光束长轨干涉仪
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机力通风间接空冷系统
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一种用于光刻机的浸没控制装置
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静电防护器件及其制造工艺
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一种制备SiC纳米线阵列的方法
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熔盐电解法制备镁稀土合金的方法
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一种铝掺杂α相氮化硅(α-Si
3
N
4
)基材料及其制备方法
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