一种铝掺杂α相氮化硅(α-Si3N4)基材料及其制备方法

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专利名称 一种铝掺杂α相氮化硅(α-Si3N4)基材料及其制备方法 申请号 CN200910054967.7 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101613856 公开(授权)日 2009.12.30 申请(专利权)人 中国科学院上海硅酸盐研究所 发明(设计)人 祝迎春;刘真 主分类号 C23C16/30(2006.01)I IPC主分类号 C23C16/30(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;C09K11/80(2006.01)I 专利有效期 一种铝掺杂α相氮化硅(α-Si3N4)基材料及其制备方法 至一种铝掺杂α相氮化硅(α-Si3N4)基材料及其制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及一种铝掺杂α相氮化硅(α-Si3N4)基材料和进一步掺杂稀土元素铕的铝掺杂 α相氮化硅(α-Si3N4)基材料,及其制备方法。本发明的铝掺杂α相氮化硅(α-Si3N4)基材料 光学带宽约为2.64eV,相比于纯净氮化硅其光学带宽大大降低,使得它在半导体光电器 件方面的应用成为可能;掺杂稀土元素Eu的铝掺杂α相氮化硅(α-Si3N4)基材料呈现出以 582nm为中心、半高宽为100nm的黄-橙色发射光谱,具有优良的发光性能,使得它在半 导体固态照明的应用方面的应用成为可能。

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