| 专利名称 | 一种检测掠射筒状离轴非球面镜的多光束长轨干涉仪 | 申请号 | CN200910067382.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101614523 | 公开（授权）日 | 2009.12.30 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 巩岩;李顺;张巍 | 主分类号 | G01B9/023(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B9/023(2006.01)I;G03H1/16(2006.01)I | 专利有效期 | 一种检测掠射筒状离轴非球面镜的多光束长轨干涉仪 至一种检测掠射筒状离轴非球面镜的多光束长轨干涉仪 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种检测掠射筒状离轴非球面镜的多光束长轨干涉仪，属于光学 检测技术领域中的检测设备。要解决的技术问题：提供一种检测掠射 筒状离轴非球面镜的多光束长轨干涉仪，技术方案：包括激光光源、 起偏器、多光束分光器、光阑、偏振分光镜、1/4波片、五棱镜、待 测筒状非球面镜、傅里叶变换透镜、CCD相机等。在激光光源的光 轴上，依次放置起偏器、直角棱镜、多光束分光器、光阑、半波片、 偏振分光镜、第二1/4波片、参考平面镜；偏振分光镜的分光面与光 轴45度，右边依次放置傅里叶透镜、CCD相机；左边光路上依次放 置第一1/4波片、第一、二五棱镜，第二五棱镜的出射面正对待测筒 状非球面镜的内表面；待测筒状非球面镜放置在旋转平台上。 |
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