一种能精确测量超薄工件厚度方法及仪器

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专利名称 一种能精确测量超薄工件厚度方法及仪器 申请号 CN200810012029.6 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101614533 公开(授权)日 2009.12.30 申请(专利权)人 中国科学院金属研究所 发明(设计)人 蔡桂喜;韩晓华;刘畅;徐华;董瑞琪;贾中青 主分类号 G01B17/02(2006.01)I IPC主分类号 G01B17/02(2006.01)I 专利有效期 一种能精确测量超薄工件厚度方法及仪器 至一种能精确测量超薄工件厚度方法及仪器 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种能精确测量超薄工件厚度方法,采用信号处理的方法来提取表征工 件厚度的超声波信息,既适合于测量超薄大曲率工件厚度也适合于测量普 通工件厚度的超声测厚技术,它的核心是对接收到的回波信号进行快速傅 里叶变换从而获得测量结果;一种能精确测量超薄工件厚度方法的仪器, 由探头和主机两部分组成,主机部分包括DSP控制模块、超声波发射电路、 超声波信号接收电路,信号放大电路、闸门电路、通讯接口,液晶显示器 和键盘。本发明的优点:既适合于测量超薄大曲率工件厚度也适合于测量 普通工件厚度,可实时采集超声回波信号,实时的进行快速傅里叶变换, 实时计算和存储管壁厚度,可以实现机械化自动测量。

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