| 专利名称 | 投影物镜的数值孔径的在线检测装置及方法 | 申请号 | CN201810416484.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN108803248A | 公开（授权）日 | 20181113 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 苏佳妮;齐月静;卢增雄;杨光华;王宇 | 主分类号 | G03F7/20 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 投影物镜的数值孔径的在线检测装置及方法 至投影物镜的数值孔径的在线检测装置及方法 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障