| 专利名称 | 一种微纳跨尺度高分辨力紫外压印光刻机 | 申请号 | CN201610801156.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106154745A | 公开（授权）日 | 20161123 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 杨勇;邓钦元;胡松;赵立新;陈磊;余斯洋;唐燕;龚健文;周毅;张满 | 主分类号 | G03F7/00 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 一种微纳跨尺度高分辨力紫外压印光刻机 至一种微纳跨尺度高分辨力紫外压印光刻机 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障