EMPT-TI-IGBT器件的结构及其制备方法

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专利名称 EMPT-TI-IGBT器件的结构及其制备方法 申请号 CN201310085535.9 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103839988A 公开(授权)日 20140604 申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所;上海联星电子有限公司;江苏中科君芯科技有限公司 发明(设计)人 朱阳军;张文亮;胡爱斌;赵佳;吴振兴 主分类号 H01L29/739 IPC主分类号 专利有效期 EMPT-TI-IGBT器件的结构及其制备方法 至EMPT-TI-IGBT器件的结构及其制备方法 法律状态 说明书摘要

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