| 专利名称 | 基于MEMS工艺的微型原子腔器件的气密性封装及方法 | 申请号 | CN201110107167.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102205941A | 公开（授权）日 | 20111005 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 吴亚明;张志强;李绍良;徐静 | 主分类号 | B81B7/00 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 基于MEMS工艺的微型原子腔器件的气密性封装及方法 至基于MEMS工艺的微型原子腔器件的气密性封装及方法 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障