| 专利名称 | 一种利用稀盐酸选择腐蚀砷化铝制作空气隙结构的方法 | 申请号 | CN200710179381.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101456531A | 公开（授权）日 | 20090617 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 李文兵;韩勤;秦龙;杨晓红;倪海乔;杜云;朱彬;鞠研玲 | 主分类号 | B81C1/00 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 一种利用稀盐酸选择腐蚀砷化铝制作空气隙结构的方法 至一种利用稀盐酸选择腐蚀砷化铝制作空气隙结构的方法 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障