一种激光反射原理的压力传感器及其压力传感方法

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专利名称 一种激光反射原理的压力传感器及其压力传感方法 申请号 CN201911212384.2 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN110926683A 公开(授权)日 20200327 申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所 发明(设计)人 林琳;王迪;郜晨希;郑旭;刘瑞琪;远雁;李超波 主分类号 G01L7/08 IPC主分类号 专利有效期 一种激光反射原理的压力传感器及其压力传感方法 至一种激光反射原理的压力传感器及其压力传感方法 法律状态 说明书摘要

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