| 专利名称 | 大型环抛机抛光胶盘平面度的测量装置及其测量方法 | 申请号 | CN201610235709.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN105783795A | 公开（授权）日 | 20160720 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 徐学科;范永涛;邵建达;王哲;顿爱欢;杨明红 | 主分类号 | G01B11/30 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 大型环抛机抛光胶盘平面度的测量装置及其测量方法 至大型环抛机抛光胶盘平面度的测量装置及其测量方法 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障