一种动态受控电弧离子镀弧源

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专利名称 一种动态受控电弧离子镀弧源 申请号 CN200710159289.1 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101358328A 公开(授权)日 20090204 申请(专利权)人 中国科学院金属研究所 发明(设计)人 肖金泉;郎文昌;孙超;宫骏;杨英;赵彦辉;杜昊;闻立时 主分类号 C23C14/32 IPC主分类号 专利有效期 一种动态受控电弧离子镀弧源 至一种动态受控电弧离子镀弧源 法律状态 说明书摘要

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