位相型朗奇光栅槽深的光学检测方法

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专利名称 位相型朗奇光栅槽深的光学检测方法 申请号 CN200810021578.X 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101339006B 公开(授权)日 20090107 申请(专利权)人 中国科学技术大学 发明(设计)人 刘颖;付绍军;刘正坤;徐向东;洪义麟 主分类号 G01B11/22 IPC主分类号 专利有效期 位相型朗奇光栅槽深的光学检测方法 至位相型朗奇光栅槽深的光学检测方法 法律状态 说明书摘要

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