| 专利名称 | 一种半导体制冷的二氧化碳超临界干燥装置 | 申请号 | CN200720103994.5 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN201028934Y | 公开（授权）日 | 20080227 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 刘茂哲;景玉鹏;陈大鹏;欧毅;叶甜春 | 主分类号 | F26B5/06 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 一种半导体制冷的二氧化碳超临界干燥装置 至一种半导体制冷的二氧化碳超临界干燥装置 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障