| 专利名称 | 在(La,Sr)(Al,Ta)O3上制备ZnO单晶薄膜的方法 | 申请号 | CN200410071047.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1294633C | 公开（授权）日 | 20050302 | 申请（专利权）人 | 中国科学院物理研究所 | 发明（设计）人 | 杜小龙;薛其坤;英敏菊;梅增霞;曾兆权;郑浩 | 主分类号 | H01L21/365 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 在(La,Sr)(Al,Ta)O3上制备ZnO单晶薄膜的方法 至在(La,Sr)(Al,Ta)O3上制备ZnO单晶薄膜的方法 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
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