| 专利名称 | 一种气流流量计、MEMS硅基温敏芯片及其制备方法 | 申请号 | CN201811032191.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN109211342B | 公开（授权）日 | 20190115 | 申请（专利权）人 | 四方光电股份有限公司;中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 熊友辉;黄成军;李丽;郭楠 | 主分类号 | G01F1/69 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 一种气流流量计、MEMS硅基温敏芯片及其制备方法 至一种气流流量计、MEMS硅基温敏芯片及其制备方法 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障