| 专利名称 | 一种平板PECVD氮化硅覆膜系统 | 申请号 | CN201020158421.4 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN201648518U | 公开（授权）日 | 20101124 | 申请（专利权）人 | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 | 发明（设计）人 | 张振厚;赵科新;赵崇凌;李士军;张健;张冬;洪克超;段鑫阳;徐宝利;钟福强;陆涛 | 主分类号 | C23C16/34 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 一种平板PECVD氮化硅覆膜系统 至一种平板PECVD氮化硅覆膜系统 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障