热丝组件及金刚石薄膜沉积设备

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专利名称 热丝组件及金刚石薄膜沉积设备 申请号 CN201710124933.5 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN108531882A 公开(授权)日 20180914 申请(专利权)人 深圳先进技术研究院 发明(设计)人 唐永炳;谢友能;王陶 主分类号 C23C16/27 IPC主分类号 专利有效期 热丝组件及金刚石薄膜沉积设备 至热丝组件及金刚石薄膜沉积设备 法律状态 说明书摘要

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