一种减小石墨烯材料与金属接触电阻的结构

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专利名称 一种减小石墨烯材料与金属接触电阻的结构 申请号 CN201310226207.6 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103296065A 公开(授权)日 20130911 申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所 发明(设计)人 金智;陈娇;麻芃;王显泰;彭松昂 主分类号 H01L29/10 IPC主分类号 专利有效期 一种减小石墨烯材料与金属接触电阻的结构 至一种减小石墨烯材料与金属接触电阻的结构 法律状态 说明书摘要

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