钛升华泵电源

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专利名称 钛升华泵电源 申请号 CN02261930.5 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN2580140Y 公开(授权)日 20031015 申请(专利权)人 中国科学院近代物理研究所 发明(设计)人 杨晓天;张军辉;蒙峻;张喜平 主分类号 F04B37/14 IPC主分类号 专利有效期 钛升华泵电源 至钛升华泵电源 法律状态 说明书摘要

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