| 专利名称 | 光刻机投影物镜多视场点波像差并行检测装置与检测方法 | 申请号 | CN201510757427.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN105259738A | 公开（授权）日 | 20160120 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 戴凤钊;王向朝;唐锋;郑亚忠 | 主分类号 | G03F7/20 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 光刻机投影物镜多视场点波像差并行检测装置与检测方法 至光刻机投影物镜多视场点波像差并行检测装置与检测方法 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障