| 专利名称 | 多脉冲组合泵浦的LPP‑EUV光源系统 | 申请号 | CN201510080857.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104638503B | 公开（授权）日 | 20150520 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 张宗昕;冷雨欣;王成;赵全忠;王关德 | 主分类号 | H01S3/094 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 多脉冲组合泵浦的LPP‑EUV光源系统 至多脉冲组合泵浦的LPP‑EUV光源系统 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障