专利名称 | 互连结构及其制造方法 | 申请号 | CN201310017093.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN103943599A | 公开(授权)日 | 20140723 | 申请(专利权)人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明(设计)人 | 聂鹏飞;粟雅娟;朱慧珑;赵超;贾昆鹏;杨杰 | 主分类号 | H01L23/522 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 互连结构及其制造方法 至互连结构及其制造方法 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接,价格透明
2、平台验证,实名审核
3、合同监控,代办手续
4、专员跟进,交易保障