| 专利名称 | 电子束光刻方法 | 申请号 | CN201210357243.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103676492A | 公开（授权）日 | 20140326 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 贺晓彬;孟令款;丁明正;刘艳松 | 主分类号 | G03F7/20 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 电子束光刻方法 至电子束光刻方法 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障