| 专利名称 | 用于MOCVD系统中控制外延片发光波长及均匀性的装置与方法 | 申请号 | CN201310477602.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103526190A | 公开（授权）日 | 20140122 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 纪攀峰;马平;王军喜;胡强;冉军学;曾一平;李晋闽 | 主分类号 | C23C16/52 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 用于MOCVD系统中控制外延片发光波长及均匀性的装置与方法 至用于MOCVD系统中控制外延片发光波长及均匀性的装置与方法 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障