| 专利名称 | 在（111）晶面的硅片上纳米梁的结构及制作方法 | 申请号 | CN200510025831.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN100482572C | 公开（授权）日 | 20060308 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 杨恒;李铁;焦继伟;李昕欣;王跃林 | 主分类号 | B82B1/00 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 在（111）晶面的硅片上纳米梁的结构及制作方法 至在（111）晶面的硅片上纳米梁的结构及制作方法 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障