| 专利名称 | 在球面面形干涉检测中高精度消除离焦误差及倾斜误差的方法 | 申请号 | CN201010224887.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101986097B | 公开（授权）日 | 20110316 | 申请（专利权）人 | 浙江大学;中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 沈亦兵;王东升;汪凯巍;许嘉俊;侯溪 | 主分类号 | G01B11/24 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 在球面面形干涉检测中高精度消除离焦误差及倾斜误差的方法 至在球面面形干涉检测中高精度消除离焦误差及倾斜误差的方法 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
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