高集成度的空间摆镜驱动装置

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专利名称 高集成度的空间摆镜驱动装置 申请号 CN200910067302.X 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101609209B 公开(授权)日 20091223 申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 汪逸群;颜昌翔;刘伟;谢涛;刘长顺 主分类号 G02B26/08 IPC主分类号 专利有效期 高集成度的空间摆镜驱动装置 至高集成度的空间摆镜驱动装置 法律状态 说明书摘要

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