利用磁控溅射制备形貌可控的锌和锌氧化物纳米材料的方法

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专利名称 利用磁控溅射制备形貌可控的锌和锌氧化物纳米材料的方法 申请号 CN200910116727.5 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101570853B 公开(授权)日 20091104 申请(专利权)人 中国科学技术大学;新柯隆株式会社 发明(设计)人 吴炳俊;李明;王海千;谢斌;姜友松;宋亦周 主分类号 C23C14/35 IPC主分类号 专利有效期 利用磁控溅射制备形貌可控的锌和锌氧化物纳米材料的方法 至利用磁控溅射制备形貌可控的锌和锌氧化物纳米材料的方法 法律状态 说明书摘要

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