基于脊形光波导的强限制多模干涉耦合器的制作方法

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专利名称 基于脊形光波导的强限制多模干涉耦合器的制作方法 申请号 CN200410031516.9 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN1284988C 公开(授权)日 20050921 申请(专利权)人 中国科学院半导体研究所 发明(设计)人 樊中朝;余金中;陈少武;王章涛;陈媛媛;李艳萍 主分类号 G02B6/136 IPC主分类号 专利有效期 基于脊形光波导的强限制多模干涉耦合器的制作方法 至基于脊形光波导的强限制多模干涉耦合器的制作方法 法律状态 说明书摘要

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