专利名称 | 一种通过重复利用黑硅清洗液对硅片进行制绒的方法 | 申请号 | CN201810750853.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN110707001A | 公开(授权)日 | 20200117 | 申请(专利权)人 | 中国科学院物理研究所 | 发明(设计)人 | 赵燕;刘尧平;王燕;杜小龙;朱姚培;唐磊;蒋健;王磊 | 主分类号 | H01L21/02 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 一种通过重复利用黑硅清洗液对硅片进行制绒的方法 至一种通过重复利用黑硅清洗液对硅片进行制绒的方法 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接,价格透明
2、平台验证,实名审核
3、合同监控,代办手续
4、专员跟进,交易保障