一种半导体器件及其制造方法

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专利名称 一种半导体器件及其制造方法 申请号 CN201410698552.4 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN105702618B 公开(授权)日 20160622 申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所 发明(设计)人 徐烨锋;闫江;陈邦明;唐兆云;唐波;许静;李春龙 主分类号 H01L21/762 IPC主分类号 专利有效期 一种半导体器件及其制造方法 至一种半导体器件及其制造方法 法律状态 说明书摘要

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