精确测量高能紫外激光系统中光学镜片透过率的装置和方法

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专利名称 精确测量高能紫外激光系统中光学镜片透过率的装置和方法 申请号 CN201510338481.1 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN104897375B 公开(授权)日 20150909 申请(专利权)人 中国科学院光电研究院 发明(设计)人 范元媛;周翊;宋兴亮;王倩;张立佳;单耀莹;蔡茜玮;彭卓君;王宇 主分类号 G01M11/02 IPC主分类号 专利有效期 精确测量高能紫外激光系统中光学镜片透过率的装置和方法 至精确测量高能紫外激光系统中光学镜片透过率的装置和方法 法律状态 说明书摘要

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