在硅衬底上调控铁磁钌酸锶外延薄膜居里温度的方法

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专利名称 在硅衬底上调控铁磁钌酸锶外延薄膜居里温度的方法 申请号 CN201410854338.3 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN104480433A 公开(授权)日 20150401 申请(专利权)人 中国科学院上海硅酸盐研究所 发明(设计)人 王炜;李效民;杨明敏;朱秋香;高相东 主分类号 C23C14/28 IPC主分类号 专利有效期 在硅衬底上调控铁磁钌酸锶外延薄膜居里温度的方法 至在硅衬底上调控铁磁钌酸锶外延薄膜居里温度的方法 法律状态 说明书摘要

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