带内加热装置的磁悬浮分子泵

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专利名称 带内加热装置的磁悬浮分子泵 申请号 CN201911136129.4 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN110863997A 公开(授权)日 20200306 申请(专利权)人 北京中科科仪股份有限公司 发明(设计)人 邹蒙;李赏;张勤德 主分类号 F04D19/04 IPC主分类号 专利有效期 带内加热装置的磁悬浮分子泵 至带内加热装置的磁悬浮分子泵 法律状态 说明书摘要

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