| 专利名称 | 压电MEMS解耦结构及MEMS陀螺仪 | 申请号 | CN201811529259.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN109682364A | 公开（授权）日 | 20190426 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所;中国科学院大学 | 发明（设计）人 | 杨健;韩国威;司朝伟;王晓东;宁瑾;颜伟;刘雯;杨富华 | 主分类号 | G01C19/56 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 压电MEMS解耦结构及MEMS陀螺仪 至压电MEMS解耦结构及MEMS陀螺仪 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障