探针、制备方法及其在扫描电容显微镜中的应用

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专利名称 探针、制备方法及其在扫描电容显微镜中的应用 申请号 CN201810215116.5 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN108802434A 公开(授权)日 20181113 申请(专利权)人 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所;中国科学院大学 发明(设计)人 杜凯;徐耿钊;刘争晖;钟海舰;宋文涛;陈科蓓;张春玉;徐科 主分类号 G01Q60/46 IPC主分类号 专利有效期 探针、制备方法及其在扫描电容显微镜中的应用 至探针、制备方法及其在扫描电容显微镜中的应用 法律状态 说明书摘要

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