专利名称 | 基于SOI衬底的Ⅲ-V族纳米线平面晶体管及制备方法 | 申请号 | CN201510236328.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN104934479A | 公开(授权)日 | 20150923 | 申请(专利权)人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明(设计)人 | 洪文婷;韩伟华;吕奇峰;杨富华 | 主分类号 | H01L29/78 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 基于SOI衬底的Ⅲ-V族纳米线平面晶体管及制备方法 至基于SOI衬底的Ⅲ-V族纳米线平面晶体管及制备方法 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接,价格透明
2、平台验证,实名审核
3、合同监控,代办手续
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