| 专利名称 | 一种基于感光干膜工艺的碳纳米管薄膜晶体管及制作方法 | 申请号 | CN201710411464.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN108987481A | 公开（授权）日 | 20181211 | 申请（专利权）人 | 中国科学院金属研究所;东北大学 | 发明（设计）人 | 孙东明;陈永洋;闫欣;孙陨;刘畅;成会明 | 主分类号 | H01L29/786 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 一种基于感光干膜工艺的碳纳米管薄膜晶体管及制作方法 至一种基于感光干膜工艺的碳纳米管薄膜晶体管及制作方法 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障