| 专利名称 | 用MBE外延InAlGaN单晶薄膜的方法 | 申请号 | CN200610088944.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN100437910C | 公开（授权）日 | 20080130 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 王保柱;王晓亮;王晓燕;王新华;肖红领;王军喜;刘宏新 | 主分类号 | H01L21/20 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 用MBE外延InAlGaN单晶薄膜的方法 至用MBE外延InAlGaN单晶薄膜的方法 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障