| 专利名称 | 可变倍率的激光光刻投影物镜 | 申请号 | CN96223156.8 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN2282197Y | 公开（授权）日 | 19980520 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 沈蓓军;黄惠杰;王润文;路敦武 | 主分类号 | G02B15/00 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 可变倍率的激光光刻投影物镜 至可变倍率的激光光刻投影物镜 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障