专利名称 | 一种用于制备大面积薄膜的自动旋转加热装置 | 申请号 | CN01218242.7 | 专利类型 | 实用新型 | 公开(公告)号 | CN2475740Y | 公开(授权)日 | 20020206 | 申请(专利权)人 | 中国科学院物理研究所 | 发明(设计)人 | 何萌;周岳亮;陈正豪;崔大复;许加迪;王淑芳;吕惠宾;杨国桢 | 主分类号 | C23C14/24 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 一种用于制备大面积薄膜的自动旋转加热装置 至一种用于制备大面积薄膜的自动旋转加热装置 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接,价格透明
2、平台验证,实名审核
3、合同监控,代办手续
4、专员跟进,交易保障