| 专利名称 | 一种提高深紫外激光器稳定性的装置 | 申请号 | CN201110367820.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103124043A | 公开（授权）日 | 20130529 | 申请（专利权）人 | 中国科学院理化技术研究所 | 发明（设计）人 | 王桂玲;陈创天;朱镛;严小正 | 主分类号 | H01S3/042 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 一种提高深紫外激光器稳定性的装置 至一种提高深紫外激光器稳定性的装置 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障