一种高重频工业用准分子激光器工作温度自调节系统

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专利名称 一种高重频工业用准分子激光器工作温度自调节系统 申请号 CN201210585457.4 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103078240A 公开(授权)日 20130501 申请(专利权)人 中国科学院安徽光学精密机械研究所 发明(设计)人 方晓东;邵景珍;梁勖;游利兵 主分类号 H01S3/041 IPC主分类号 专利有效期 一种高重频工业用准分子激光器工作温度自调节系统 至一种高重频工业用准分子激光器工作温度自调节系统 法律状态 说明书摘要

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