| 专利名称 | 改善大口径碳化硅反射镜硅改性层表面微观缺陷的方法 | 申请号 | CN201710584927.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN107400868A | 公开（授权）日 | 20171128 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 刘震;高劲松;王笑夷;杨海贵;王彤彤;申振峰 | 主分类号 | C23C14/35 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 改善大口径碳化硅反射镜硅改性层表面微观缺陷的方法 至改善大口径碳化硅反射镜硅改性层表面微观缺陷的方法 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障