| 专利名称 | 一种基于清洗工艺制备铜衬底的方法 | 申请号 | CN201510933627.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106884152A | 公开（授权）日 | 20170623 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 张燕辉;于广辉;葛晓明;张浩然;陈志蓥;隋妍萍;邓荣轩 | 主分类号 | C23C16/02 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 一种基于清洗工艺制备铜衬底的方法 至一种基于清洗工艺制备铜衬底的方法 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障