| 专利名称 | 一种极紫外光源性能参数的测量系统 | 申请号 | CN201510772679.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN105258925B | 公开（授权）日 | 20160120 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 谢婉露;吴晓斌;陈进新;王魁波;罗艳;张罗莎;王宇;崔惠绒 | 主分类号 | G01M11/02 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 一种极紫外光源性能参数的测量系统 至一种极紫外光源性能参数的测量系统 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障