专利名称 | 光栅尺双向对接曝光法 | 申请号 | CN200410009663.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN100483253C | 公开(授权)日 | 20060419 | 申请(专利权)人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明(设计)人 | 赵泽宇 | 主分类号 | G03F7/20 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 光栅尺双向对接曝光法 至光栅尺双向对接曝光法 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接,价格透明
2、平台验证,实名审核
3、合同监控,代办手续
4、专员跟进,交易保障