| 专利名称 | 利用光掩模板作无源对准的方法 | 申请号 | CN200410006726.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1661476A | 公开（授权）日 | 20050831 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 陈弘达;裴为华;唐君;申荣铉;孙增辉;贾九春 | 主分类号 | G03F7/20 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 利用光掩模板作无源对准的方法 至利用光掩模板作无源对准的方法 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障