| 专利名称 | 一种用于光刻机检焦系统的高精度多通道数据采集系统 | 申请号 | CN201310097705.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103226293A | 公开（授权）日 | 20130731 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 钟玲娜;唐小萍;严伟;胡松;李兰兰 | 主分类号 | G03F7/20 | IPC主分类号 | 专利有效期 | 一种用于光刻机检焦系统的高精度多通道数据采集系统 至一种用于光刻机检焦系统的高精度多通道数据采集系统 | 法律状态 | 说明书摘要 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障